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09
2023-10
平台刻蚀设备基础知识(V1.0)
(1)此文档根据日常咨询的问题整理,如有疑问,可咨询老师和当天刻蚀区助管。(2)设备异常情况及时联系联系助管和老师,严禁私自操作,助管的联系方式在老三五刻蚀设备旁边。1刻蚀设备选择为了避免不同刻蚀材料的交叉污染,将设备刻蚀材料分类如下表老三五ICPInP;GaAs;Cr;Al2O3;TiO2;SiO2新三五ICPInP;GaAs;AlNSi-ICPSi;SiO2;深SiNLDLiNbO3;SOI的浅Si刻蚀新RIE SENTECHSiO2;InP旧RIEPt; Cr2刻蚀程序的关键参数和指...
10
2022-03
微纳工艺与表征平台平台人脸识别权限申请表
点击下载微纳工艺与表征平台平台人脸识别权限申请表 2022.doc
26
2021-05
金相显微镜手机软件
请下载附件,安装到手机上,连接到平台金相显微镜WIFI即可查看金相图片
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