名称热场发射扫描电镜型号Nova   NanoSEM 450 FP2053/45制造商捷克FEI公司主要功能以波长极短的电子束聚焦后在样品表面扫描，接收从样品表面激发出的二次电子信号成像。主要用于观察固体表面的形貌，也能与EBSD或电子能谱仪相结合，构成电子微探针，用于物质成分分析。此电镜可对导电率小的材料分析， 还可进行环境气氛下材料研究。技术指标分辨率： 高真空成像，0.8   nm @ 30kV (STEM) 1.0 nm @ 15 kV (TLD-SE) 1.4 nm @ 1 kV...

名称扫描电镜/聚焦离子束电镜系统型号Quanta   3D FEG SEM/FIB制造商美国FEI公司主要功能SEM/FIB双束系统主要用于在金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构。同时，配备纳米机械手之后，可以定点制备TEM样品，此仪器是探索决定物质表观特性微观本质的强有力工具。技术指标FIB最大束流达到65nA扫描电镜电子束流最大200nA环境扫描(ESEM)技术: 高真空， 低真空和环境真空三种真空模式1kV分辨率(高真空)   2.9nm...