台阶仪

作者：时间：2021-05-26 浏览：

名称	探针式表面台阶测试仪（台阶仪手动）
型号	DektakXT
制造商	美国Bruker公司
主要功能	该DektakXT探针式表面轮廓仪是一种先进薄厚膜的台阶高度扫描工具。除了仿形表面形貌和波状起伏外，DektakX系统扫描nm量程的线粗糙度。
技术指标	台阶高度重复性4Å；扫描长度：50um-55mm 垂直测量范围： 1mm（样品最大台阶高度不能超过500um）垂直分辨率：最大1Å（6.5um量程范围) 探针压力：1－15mg ，常用3mg 探针曲率半径：标配2um

名称	探针式表面台阶测试仪
型号	KLA TENCOR P16+
制造商	KLA TENCOR 公司
主要功能	该仪器可为多种不同表面提供全面的二维和三维形貌分析特性，三级扫描精度模式，能够精确可靠地量测出台阶高度、表面粗糙度、细微波纹度及其它基片形貌参数。
技术指标	台阶重复精度：6Å 或0.1％（1σ）最小扫描精度模式：13μm/0.001Å 扫描范围：横向8英寸范围，垂向100μm 横向分辨率：2μm 垂向分辨率：0.01Å 探针类型：2μm，60゜金刚石探针探针接触力：<2mg

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