设备共享

刻蚀设备

当前位置：首页 > 设备共享 > 刻蚀设备 > 正文

反应离子刻蚀机

作者：时间：2021-05-26 浏览：

RIE

管理员：卢宏/李攀

所属单位：18luck新利电竞

状态：正常

价格：校外：400元/60分钟，校内：200元/60分钟

单位预约时间：30(单位:分钟)

型号、参数及用途

多功能反应离子刻蚀机|ME-3A，氧气/Ar/CHF3/SF6/

主要技术指标及注意事项

石墨烯、氧化硅、氮化硅、金属等材料的刻蚀

上一篇：新RIE SENTECH SI 591

下一篇：Ⅲ-Ⅴ族ICP

Copyright © 2021 武汉光电国家研究中心微纳工艺与表征平台