为更好地了解科学仪器性能，服务于师生的科研工作，微纳工艺与表征平台于3月8日邀请了英国Oxford Instrument公司应用工程师黄志登来校进行了感应耦合等离子体刻蚀机的验收讲座与培训活动。       黄工首先对2022年新上线的PTIQ软件的常用功能进行介绍和演示，并以ALE功能为例，从基础的各项同性纯化学腐蚀，到等离子体及保护气体实现的各项异性刻蚀，进而推移到单loop刻蚀深度2-8埃米尺度的ALE工艺进行了详细深入的讲解...

    报告人简介：Dominik Ziegler博士，劳伦斯伯克利国家实验室（Lawrence Berkeley National Laboratory）应用科学家 、尖端原子力显微镜Nanosurf公司（瑞士）首席执行官、Scuba Probe Technologies 公司（美国）创始人；苏黎世联邦理工学院博士、洛桑联邦理工学院、苏黎世联邦理工学院、东京大学应用科学家。他在开尔文探针力显微镜和多频原子力显微镜技术领域、先进低噪声仪器的开发有丰富的经验，在微电子器件、生物、医疗...

为更好的了解仪器的性能，服务于师生的科研工作，微纳工艺与表征平台于3月1日邀请了美国J.A.Woollam公司应用工程师苏慧荣来校进行了光谱椭偏仪的使用、分析方面的讲座与培训。苏慧荣首先对光谱椭偏仪的构建原理、使用方法、分析过程中参数的选择进行了详细的讲解，随后在微纳平台超净间对一些非常规样品进行了现场操作演示培训。通过本次讲座培训，使师生们对该仪器有了更深入的了解，有助于提高设备的使用效率和准确性。光谱椭...

喜迎二十大——微纳平台支部联合党建活动在烽火创新谷召开 2022年下半年，中国共产党第二十次全国代表大会将在北京召开。为迎接二十大的顺利召开，促进兄弟单位间基层党支部的党建经验分享、加强专业交流及业务合作，提升基层党支部的建设质量，发挥党支部战斗堡垒作用，国家信息光电子创新中心党支部、中国信科集团总部南区二支部（光纤通信国重实验室基础部党支部）、武汉光电国家研究中心光电子器件与集成功能实验室教工党支...