XRD

型号

X   Pert pro MRD

制造商

荷兰菲利普

主要功能

用于测试半导体外延量子阱结构的综合性质量分析；对晶体膜层进行质量分析；单层金属膜厚分析。

技术指标

六维精密测角仪，五种测试模式：
  Rocking Curve/Triple Axis/薄膜物相/反射率测试/倒易空间Mapping