电化学电容电压剖析仪ECV

型号

dage WAFER PROFILER CVP 21

制造商

德国Wep科技公司

主要功能

采用电化学腐蚀的方法，对半导体Wafer材料进行深度-载流子浓度的测试。

技术指标

主要应用范围为GaAs及InP系材料，对GaN材料腐蚀较慢。

最佳测试范围：载流子浓度量级10¹⁵~10²⁰/cm³