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磁控溅射镀膜机

作者：时间：2021-05-24 浏览：

磁控溅射镀膜机_新

管理员：黄光/张广学

工艺类别：镀膜

所属单位：18luck新利电竞

状态：正常

价格：校外：600元/60分钟，校内：400元/60分钟

单位预约时间：30(单位:分钟)

型号、参数及用途

溅射方式：直流/射频；3靶位；可加热。

主要技术指标及注意事项

样品托盘为6英寸，溅射面积最大为4英寸；

靶材尺寸为直径75毫米，现有靶材：Al/Ti/镍铬合金;

气体：氩气/氧气。

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