当前位置: 首页 > 设备共享 > 光刻设备 > 正文
作者: 时间:2021-05-26 浏览:
名称
纳米压印
型号
EITRE® 3
制造商
瑞典Obducat
主要功能
高精度纳米压印
技术指标
紫外压印、热固化压印,最大3英寸;
下一篇:500nm步进式光刻机
Copyright © 2021 武汉光电国家研究中心微纳工艺与表征平台