500nm步进式光刻机

型号

Nikon   I9

制造商

日本尼康

主要功能

高精度光刻

技术指标

光刻精度：500nm

套刻对准精度：150nm

最大曝光面积：2cm*2cm。

基片尺寸：自动上片可以做6英寸硅片，手动上片最小可以做1/4的两英寸片。