设备名称
MPS150模块化探针台
设备简介
探针台系统最大可负载155mm晶圆（六英寸晶圆），适用于 RF、毫米波、亚太赫兹 (sub-THz) 特性分析、FA、DWC、MEMS、光电测试和 WL等多种应用。
技术参数
载物台座技术参数：
① 行程：155mm*155mm
② 分辨率：5μm
③ 150mm平面平面度：<10μm
④ Y向装载行程：90mm
⑤ Z向高度行程：10mm
⑥ Z向接触/分离/负载行程：0-3mm可调
RF晶圆载物台技术参数：
① 直径：150mm 配备双AUX载物台
② 材料：HF/OPTO表面不锈钢（0.7mm真空孔）
③ DUT尺寸适用：最小值3*5mm，晶圆形态为1英寸-6英寸
④ 真空孔组：22mm，42mm，66mm，88mm，110mm，132mm
⑤ 表面平面度：<±3μm
⑥ 坚固度：<15μm/10N @ 边缘
RPP210探针座技术参数：
① 探针应用：Infinity/ACP/ Z探针系列RF探针
② 特征分辨率：<1μm
③ 行程（X/Y/Z）：12.5mm/12.5mm/12.5mm
④ 固定方式：真空/磁吸
⑤ 底座尺寸：90mm*60mm
RPP404探针座技术参数：
① 探针应用：Infinity/ACP/ Z探针//T-Wave系列RF探针
② 适用频率：110GHz或更低
③ 行程（X/Y/Z）：12mm/12mm/12mm
④ 固定方式：螺栓固定
⑤ 底座尺寸：90mm*60mm
SlimVue显微镜技术参数：
① 放大比率：3.3x
② 目镜放大倍率：10x
③ 装备10x物镜后放大倍率：100x-330x
④ 瞳距：55mm-75mm
⑤ 对焦单元行程：±25mm
