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光学与电子信息学院大型仪器共享平台位于光电信息大楼A栋3楼,始建于2016年3月,于2017年5月全面对外开放。
平台使用总面积约400多平方米,建有完善的动力和安全保障系统。拥有PLD、光刻机、磁控溅射机、等离子刻蚀机、真空蒸发镀膜机、引线键合机等多台工艺设备,另有X射线衍射仪、原子力显微镜、场发射扫描电子显微镜、微波信号源(矢量)、可编程光滤波器、超高精度相位噪声测量系统及分析装置、半导体器件分析仪、探针台、等近20台测试设备;平台可开展光电子器件、半导体器件、电子材料的工艺研究和检测工作。
共享平台的宗旨:快速响应、高效服务、培养人才、满足需求;为提升我国的光电子、微电子研究的科技水平贡献力量。