[仪器]表面轮廓综合测量仪

功能介绍

表面形貌是高端制造产品和科学研究样件的重要几何特征，影响其摩擦、磨损、润滑、疲劳、密封、配合性质、黏附性、抗腐蚀性、导电性、导热性、反射性能、信息存储性能和其他特性。表面形貌的测量、分析与评定，是制造产品质量表征的重要环节，是质量控制与功能可靠保证的前提，是科研领域基于表面形态分析了解进行相关因素的基础。

表面轮廓测量仪是一款高精度、大范围触针扫描综合测量仪，具有国际领先的测量技术，可以对精密工程表面（包括平面、球面、非球面、自由曲面等）进行粗糙度、波纹度和形状高精度测量与分析。适用于机械、电子等制件的表面质量评定和工艺分析。

主要技术参数

·测量范围：X：200mm；  Z：8mm；  Y：200mm

·测量精度：分辨率 0.8nm/8mm

·Z轴非线性度：0.07+0.03 Z[mm]；  角度：≤0.5min 

·测量半径及公差

研究应用成果展示

多轴联动自由曲面加工表面形貌测量、加工工艺分析和优化（主轴转速、进给速度等），完善自由曲面的制备方法。分别将表面粗糙度参数Sq由0.605μm降低至0.1660μm，Sa由0.5179μm降低至0.1374μm。

通过对磨合磨损前后不同纹理表面形貌的测量与分析，基于机器学习理论，建立磨合前后表面功能特性的预测。通过预测模型，优化在给定工况下的初始表面形貌，达到减少磨损量并延长使用寿命的目的。

本设备研究项目支撑情况：国家支撑计划国际标准制定项目任务“线性轮廓滤波－样条小波”，湖北省自然基金重点项目“三维表面形貌综合测量分析与评定研究”，863重点项目“微纳三维测量技术与装置子项目——精密表面形貌测量”等。