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[设备]分光光度计3700i

作者:编辑:郑忠香发布:2024-01-29点击量:
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中文名称:

分光光度计3700i

英文名称:

Spectrophotometer

仪器编号:

02220444

仪器型号:

SolidSpec-3700i DUV

生产厂家:

日本岛津

放置位置:

先进制造大楼东楼W102集成电路测量装备研究中心

 

功能介绍

可实现170nm-3300nm波段范围内的高精度吸收光谱、反射光谱和透射光谱的测试分析,进而分析材料和器件的物理光学性质。可用于新材料宽光谱光学特性分析、新器件宽光谱光学特性测量评估等领域。

主要技术参数

(1)层析穆勒矩阵散射场建模计算与测量能力;

(1)波段范围:170nm-3300nm

(2)光谱分辨率:0.1nm

(3)光谱带宽:UV/VIS波段0.1nm-8nm可切换;NIR波段0.2nm-32nm可切换

(4)检测器:光电倍增管 / InGaAs /Cooled PbS

(5)杂散光:&amp;lt;0.0001T @220nm&amp;340nm;&amp;lt;0.0005T @1420nm;&amp;lt;0.005T @2365nm

(6)最大样品尺寸:&amp;gt;500mm*500mm

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