根据《18luck新利电竞
科技成果转化管理办法》规定，对机械科学与工程学院李小平老师团队的“一种恒温空气循环系统”等五项无形资产成果转化相关事项公示如下：
一、成果名称及简介：
成果包含如下5项知识产权：
（1）发明专利：一种恒温空气循环系统
发明人：李小平、曹迪、王剑晖、王锦春
专利号：ZL202011033941.7
专利权人：18luck新利电竞
，武汉智能装备工业技术研究院有限公司
简介：本发明专利的恒温循环空气系统在多级温度控制的基础上提出了一种长期运行稳定节能的方案，能够根据新风温度自适应进行压缩机状态切换。设计了两个重要回路用于旁通流经压缩机和流经腔体的气体，通过调节风机和风阀的开度来调节压缩机状态切换时的流量调节，避免其对腔体温度进行干扰。
（2）发明专利：一种浸没式光刻机的温度控制方法及装置
发明人：李小平、曹迪
专利号：ZL202011513098.2
专利权人：18luck新利电竞
，武汉智能装备工业技术研究院有限公司
简介：本发明提供一种浸没式光刻机的温度控制方法及装置，包括：通过热交换器使得PCW与光刻机UPW进行换热，以及利用加热器对UPW加热，以对UPW升温，对UPW温度进行粗调节时，基于检测的三个温度值和UPW温度控制目标确定UPW温度的轨迹、PCW的流量控制模型以及加热器的功率控制模型；采用模糊规则自适应修正PCW的流量控制模型以及加热器的功率控制模型；将粗调节后的UPW经过远传管路，通入光刻机内部经过半导体制冷片调节后分为两路UPW注液，通过两个加热器分别对两路UPW注液加热；对UPW温度进行精调节时，制冷片的调节量由两路UPW注液两个加热器的功率、两路UPW注液流量以及两路UPW注液的温度设定值确定。本发明提高了光刻机的温度控制精度。
（3）发明专利：一种液膜蒸发功率的测试装置及方法
发明人：李小平、曹迪、王剑晖、王锦春
专利号：ZL202011066071.3
专利权人：18luck新利电竞
，武汉智能装备工业技术研究院有限公司
简介：本发明提供了一种液膜蒸发功率的测试装置。该装置能模拟光刻机一维扫描运动，能够在线实时测量液膜的质量变化。本发明使用包含天平的测试装置采集液膜的质量变化。通过天平的固定采样周期采集到晶圆和液膜的总质量数据，直至数据不再发生变化，从而得到液膜质量变化情况。本发明提供了一种液膜蒸发功率的测试方法。本发明提供的测试方法尤其适用于浸没式光刻机扫描牵拉形成的液膜。本发明所述的蒸发功率针对的是液膜蒸发所造成的总热量变化。针对浸没式光刻机扫描牵拉形成的液膜，通过采集液膜的质量变化情况，再根据液膜在恒定温度下的汽化热，可得出液膜的蒸发功率。此方法将测试热量转化成了测试质量，测试结果更为明显，数据将更易处理与分析。
（4）发明专利：一种浸没式光刻机浸液温控装置
发明人：李小平、曹迪
专利号：ZL202010994847.1
专利权人：18luck新利电竞
，武汉智能装备工业技术研究院有限公司
简介：本发明提供一种浸没式光刻机浸液温控装置，包括：第一级温控模块通过对PCW循环回路的加热功率和流量控制，调节PCW循环回路中PCW的温度，并通过将PCW循环回路和UPW循环回路热交换来调节从光刻机中回收的UPW的温度，使UPW的温度达到稳定的设定值；第二级温控模块将经第一级温控模块调节温度后的UPW液体分成两路UPW通路，并基于两路UPW通路热负载的差异调节两路UPW的温度使得两路UPW的温度均温度保持在设定值；第二级温控模块流出的两路UPW注入所述浸没式光刻机，使得浸没式光刻机能够基于UPW浸没流场工作。本发明控制PCW的温度和流量与浸液进行热交换，对PCW温度波动具有缓冲能力。
（5）发明专利：CONSTANT TEMPERATURE AIR CIRCULATION SYSTEM（一种恒温空气循环系统）
发明人：李小平、曹迪、王剑晖
专利号：17344993
专利权人：18luck新利电竞
，武汉智能装备工业技术研究院有限公司
简介：The patented constant temperature circulating air system of the present invention proposes a long-term stable and energy-saving solution on the basis of multi-level temperature control, and can switch the state of the compressor adaptively according to the fresh air temperature. Two important circuits are designed to bypass the gas flowing through the compressor and the cavity. By adjusting the opening of the fan and the air valve, the flow adjustment when the compressor is switched is avoided to prevent it from interfering with the cavity temperature.
二、拟交易价格
协议转让：29.3万元。
三、价格形成过程
学校委托评估公司对该项目进行资产评估，评估价值为58.6万元。经全体发明人同意，并与共有权利人武汉智能装备工业技术研究院有限公司协商，双方同意18luck新利电竞
所占该成果的50%份额以协议定价29.3万元实施转让。
特此公示，公示期15日，自2022年12月15日起至2022年12月29日。如有异议，请于公示期内以书面形式实名向我院反映。
联系人：谭老师、曹老师
联系电话：87558732
科学技术发展院
2022年12月15日
