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科技成果转化公示〔2022〕34号——大幅面空间隔离型原子层沉积技术

来源:    作者:    发布时间:2022-06-16    阅读量:


根据《18luck新利电竞 科技成果转化管理办法》规定,对机械科学与工程学院陈蓉团队“大幅面空间隔离型原子层沉积技术”成果转化相关事项公示如下:

一、成果名称及简介

该成果包含如下3项知识产权:

(1)发明专利:一种原子层沉积前驱体输出装置

专利号:ZL201310585179.7

发明人:陈蓉,邓章,曹坤,单斌,文艳伟

简介:本发明公开了一种原子层沉积前驱体输出装置,该输出装置由装载前驱体的钢瓶),缓存腔,连接所述钢瓶与缓存腔的第一开关阀,位于所述缓存腔腔体内且与所述缓存腔腔体气密性良好的运动活塞,以及控制输出主管路的第二开关阀构成。本发明通过固定空间的气体体积变化,每次稳定的排出等量前驱体,保证定量输出前驱体,能够更好的适应于前驱体用量优化分析及在线监测系统分析。

(2)发明专利:一种用于大型非平整表面沉积的装置及方法

专利号:ZL201310583654.7

发明人:陈蓉,邓章,段晨龙,单斌,文艳伟

简介:本发明公开了一种原子层沉积装置,包括原子层沉积单元喷头,所述单元喷头包括高压气流入口,惰性隔离气体入口通道,出气口通道,和两种前驱体入口通道,其中所述高压气流入口喷出高压气体以顶起整个沉积装置,该装置是微型开放式且可移动可扩展,能够适用于大型非平整结构表面薄膜沉积,并可直接经过简单多块组合,增加沉积效率。

(3)发明专利:一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置

专利号:ZL201710336412.6

发明人:陈蓉,王晓雷,单斌,李云,林骥龙,马玉春,但威

简介:本发明公开了一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置。模块化喷头包括:前驱体通道组件、密封组件;前驱体通道组件包括板状基体、前驱体通道、气体管路;前驱体通道布置于板状基体正面,自上而下延伸,前驱体通道的顶端连通气体管路;密封组件设于板状基体正面,用于对前驱体通道进行密封,防止前驱体泄露。本发明的模块化喷头,由多个部件构成整体模块,并且通过前躯体通道对喷入的气体进行分流和缓冲,实现沉积均匀,且可以根据实际需求选取任意数量进行组合。本发明的装置包括多个模块化喷头,以一定的间隔排列,分别通入氧化物前驱体源和金属前驱体源,使得基底在前驱体单元下运动一个来回沉积多层薄膜,大大提高了薄膜沉积效率。

二、拟交易价格

普通许可:500万许可费+按销售总额的5%提成(若利润分配占设备销售利润40%以上,则双方可针对该分配另行协商,但不得低于总销售额的3%)

三、价格形成过程

经全体发明人同意,并与苏州晟成光伏设备有限公司协商,双方同意该成果以协议定价500万元实施许可,期限10年。

特此公示,公示期15日,自2022年6月16日起至2022年6月30日。如有异议,请于公示期内以书面形式实名向我院反映。

联系人:谭老师、曹老师

联系电话:87558732

科学技术发展院

2022年6月16日

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