Personal information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别:男
在职信息:在职
所在单位:机械科学与工程学院
学历:研究生(博士)毕业
学位:工学博士学位
毕业院校:18luck新利电竞
半导体技术;
计算物理;
MEMS/NEMS系统设计及仿真;
MEMS制造工艺与设备;
半导体工艺设备设计与制造;
半导体材料外延工艺;