微纳制造技术在催化剂设计、光电器件及传感器中的应用,主要包括以下几个方面:
选择性原子层沉积方法
纳米颗粒制备与改性
柔性电子制造薄膜生长工艺与装备
光电显示、光电转换器件制备与开发
具体内容可参见 http://anml.hust.edu.cn & http://moc973.hust.edu.cn