美国材料研究学会秋季会议简介

【期数】：1996年04期

【作者】：柳百新

【摘要】： 美国材料研究学会(Materials Research Society,简称MRS)1995年秋季会议于1995年11月27日至12月1日在美国东部文化名城波士顿市举行。这是当今世界规模最大、水平最高的材料科学会议。近几年,每次会议都超过4000人。离子束材料改性一直是MRS秋季会议中一个重要的分会。美国垒地亚国家实验室的Dr.S.T.Picraux作了关于半导体器件生产过程中的离子束技术的评述报告。这项工作是由美国能源部(DOE)支持的,他评述了随着集成电路尺寸的减少而给离子束技术带来的挑战,指出今后的工作应重视缺陷的模型,注入掺杂的分布,过渡过程增强扩散,高能注入及损