微型电子机械系统

【期数】：1999年03期

【作者】：

【摘要】： 在微小尺寸范围内,将机械可划分为1～10mm的小型机械,1μm～1mm的微型机械,以及1nm～1μm的纳米机械。所谓微型电子机械系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS),从广义上包含小型、微型和纳米机械,但并非机械的单纯微小化,它集微型机械、