实验室在等离子体源开展了广泛的研究，自主研制了介质阻挡放电源，等离子体射流源，表面微放电等离子体源，针针放电、针板放电等大气压低温等离子体源，可产生满足各种应用需要的等离子体。
各类大气压放电等离子源
与此同时，本实验室还拥有多种驱动等离子体源的高性能电源，包括高压高频交流电源，高压直流电源，高压脉冲电源，高压射频电源等
电感耦合等离子体（ICP）可以在低气压条件下产生具有高密度、高均匀度的等离子体，可以用于等离子体刻蚀、等离子体材料改性等方面的研究，也可以用于研究低气压下射频等离子体特性。
ICP等离子体源装置图及放电图片
